濕度感測技術是廣泛的應用，包括HVAC和制冷至關重要的; 醫(yī)療設備，如CPAP機和呼吸機; 用于食品和制藥工業(yè)資產跟蹤和存儲裝置; 工業(yè)控制系統(tǒng); 氣象儀器; 汽車氣候控制和除霧; 和移動計算設備。盡管行業(yè)和需要它的應用程序的數量，相對濕度(RH)的測量是在環(huán)境傳感越困難的技術挑戰(zhàn)。

　　濕度感測儀器通常依靠溫度，壓力，質量，或在一個物質的機械或電氣的變化測量時水分被吸收從該濕度然后可以的。機械濕度計(圖1)傳統(tǒng)上使用的人類或動物的毛發(fā)，因為頭發(fā)的長度隨濕度可測量的變化來測量濕度。如今，現(xiàn)代電子濕度傳感器，通過測量在電電容或電阻，或在出現(xiàn)冷凝的溫度濕度有關的變化進行操作。

　　相對濕度傳感器，特別是那些依賴于吸濕的聚合物電介體材料的電容變化的測量，具有應用和使用的要求，包括：

　　1、板組裝過程中保護該傳感器，特別是在回流焊接的需要，并需要隨后再水合所述傳感器;

　　2、以防止損壞或污染傳感器的產品生命周期中的需要;

　　3、上長時間暴露的傳感器精度的潛在影響到溫度和/或濕度的極端;

　　4、需要的溫度校正和線性化應用到濕度讀數。

　　一些這些要求從在電容型傳感器中使用的聚酰亞胺膜的自然特性莖。其它的是傳感器的開放式空腔封裝的結果暴露在管芯和傳感器薄膜到環(huán)境中。CMOS的制造技術使人們有可能建立一個******的先進的電容式濕度傳感器提供的傳感元件的創(chuàng)新，具有成本效益的封面。服用這些單芯片濕度傳感器一探究竟之前，讓我們回顧一些RH測量的基本原則。